반도체8대공정: 산화1. SiO2가 뭐가 좋고 어떻게 만드나 대강 설명. 남이 알려주면 쉬운 반도체공정
조회수 2회 · 9개월 전 · 15:43
****** 아주 중요한 수정이 있습니다!! 반도체공정에서 사용되는 모든 SiO2는 전부 amorphous상입니다!!!
마스크 바디로 사용되는 SiO2만 결정성이며, 그 이외의 모든 SiO2는 전부 다 amorphous 입니다.
최근 열역학을 다시 공부하면서 보게 된 내용인데, crystal SiO2가 증착되는 조건이 엄청나게 극단적인 환경이더라구요, 모든 공정은 amorphous입니다!!!!
0:37 부터 본론 들어갑니다.
13:13부터 요약들어갑니다. 시간없으면 여기부터 보세용
궁금한점은 댓글남겨주세요~
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