[기초반도체공정|1.4] #RCA clean #megasonic

글로벌비전 아카데미

영상 10,782편

조회수 2회 · 9개월 전 · 14:40

다양한 오염물들을 제거하기 위해 개발되어 공식적인 방법으로 사용중인 RCA clean 에 대해 알아보고, 그 밖에 다른 cleaning 방법에 대해서도 알아 봅니다.

[DB 지식백과]반도체 DB

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